二手 OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus #293768259 待售

OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus
ID: 293768259
晶圆大小: 4"
Ion Beam Etching (IBE) system, 4".
OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus是一款先进的离子铣削设备,设计用于精确的表面纳米结构。该系统是为容纳包括硅、玻璃、金刚石、蓝宝石和其他宽带间隙材料在内的一系列可选基板而构建的。它具有全自动的刀架,优化的光刻以提高屈服均匀性,并具有宽阔的腔室面积,可调节深度和可调节角度,用于精确的工艺控制。该单元还可兼容各种铣削应用,包括蚀刻、沉积薄膜和创建微阵列。Ionfab 300 Plus利用精确的等离子体测量面密度和能量分布,以确保对离子束的全面控制。它有一个离子源,能够产生5-200 eV范围内的低能离子束,电流高达10 mA。该机还具有一个可调节的离子光学封装和一个离子光柱,有助于保持均匀稳定的离子束,以达到最佳的铣削性能。该工具还配备了先进的自动化阶段,这些阶段能够进行精确调整以创建高精度的模式,以及热接近度调整以进行精确处理。此外,OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus具有植入前注射阶段,允许精确的薄膜沉积和离子植入。它包括一个高分辨率的成像资产,可以达到高达1 nm的分辨率,能够调整剂量大小,在多个底物水平上提供均匀的结果。该模型还与真空协议兼容,以确保真空兼容过程和延长铣削时间。OxfordsIonfab 300 Plus是从事先进微观和纳米结构表面结构研发的人士的理想选择。它采用了用户友好的软件设计,使其在不影响准确性或性能的情况下极易设置和使用。该设备是任何实验室的宝贵补充,具有先进的工艺能力,可实现更高的控制、准确性和产量均匀性。
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