二手 OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300LC #293718221 待售
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OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300LC是一款尖端离子铣削设备，旨在为半导体制造、材料科学等相关行业的薄膜沉积和蚀刻工艺提供先进的能力。离子铣削是一种多用途的技术，用于通过用高能离子轰击基板来精确蚀刻和绘制纳米尺度的材料。Ionfab 300LC系统的核心是一个强大的离子源，它产生具有受控能量和方向性的离子，用于精确的材料去除。该单元提供了范围广泛的离子种类选择，包括稀有气体，如氙气，以及氧气和氮气等反应性离子，使用户可以量身定制离子束成分，以匹配正在加工的特定材料。OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300LC配备了先进的光束转向机，能够对样品表面上的离子束位置和扫描图样进行高精度控制。这种能力对于实现均匀和选择性的材料去除至关重要，对于制造复杂的图桉和具有高长宽比的结构至关重要。Ionfab 300LC的一个主要特点是它的多用途采样阶段，它允许在离子铣削过程中精确定位和旋转基板。这使用户能够在大面积基板上实现均匀的蚀刻轮廓,并以高可重复性和准确性执行复杂的蚀刻几何形状和多步处理序列。该工具还配备了先进的过程监测和控制能力，以确保最佳的过程稳定性和可重复性。实时反馈机制，如光发射光谱（OES）和离子束电流测量，提供了对过程动力学的宝贵见解，并允许原位过程优化，以实现所需的蚀刻速率和选择性。此外，OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300LC提供了一系列自动化和软件集成选项，以简化操作和数据管理流程。这包括基于配方的编程,以便于流程设置和参数优化,以及远程监视和控制功能,以提高资产灵活性和生产率。在安全性和人体工程学方面，Ionfab 300LC设计具有互锁和屏蔽机制等用户友好功能，以保护操作员不受电离辐射和高真空环境的影响。该模型还符合实验室和洁净室环境中安全操作的行业标准和法规。总体而言,OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300LC离子铣削设备代表了精密材料加工应用的最新解决方桉,为广泛的研究和工业应用提供了先进的功能、高性能和用户友好的操作。它的多功能性、可靠性和效率使其成为实现各种材料的精确蚀刻和图桉化的理想工具,并具有纳米级精度和控制力。
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