二手 OXFORD Ionfab 300 Plus #293815692 待售

OXFORD Ionfab 300 Plus是一种离子铣削设备，设计用于表面平面化、纳米图案化、金属蚀刻等高精度应用。它配备了高频、高能双束离子源，提供化学和物理溅射。该系统还具有多种多级旋转泵和过滤系统，以实现清洁运行和长期可靠性。Ionfab 300 Plus具有6目标气体喷射单元，提供精确的气体/目标成分可编程性，高分辨率彩色摄像头，以及兼具手动和计算机控制选项的综合控制机器。高频双束离子源可实现包括蚀刻速率、沉积速率和工艺再现性的广泛溅射工艺参数。离子束具有极好的表面光洁度,表面残留最小化,表面效果最小化.OXFORD Ionfab 300 Plus配备了高度先进的控制工具，能够精确控制和监测溅射过程。此资产允许对各种工艺参数进行编程,包括基板温度、射频发生器功率水平、光束对准和压力差异。自动化模型还可用于人工干预的复杂过程配方。在安全性和环境考虑方面，Oxonfab 300 Plus的设计具有低排放源、最小噪声和低振动水平。它还获得了符合欧盟健康和安全要求的认证，并符合RoHS指令。此外,该设备受三年保修的保护,额定运行温度范围为30°C至95°C。总体而言，Ionfab 300 Plus是业界领先的离子铣削系统，能够产生无懈可击的结果，并具有精确的控制和可重复性。它旨在迎合表面平面化、纳米光学、金属蚀刻等高精度应用。该单位还遵守健康和安全条例，并受三年保修的保护，以实现额外的安心。