二手 OXFORD Ionfab 300 Plus #9261769 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9261769
优质的: 1994
Ion Beam Etching (IBE) system
(4) Mass Flow Controllers (MFC)
Targets, 4"
Argon to mill metal layers on silicon wafers
Etching gun: 15 cm
Gun: 3 cm
Tooling, 8"
Upgraded motor controller
Manual
1994 vintage.
OXFORD Ionfab 300 Plus是一款灵活、高性能的离子铣削设备，旨在为金属、化合物、半导体等多种材料提供快速可靠的微结构解决方桉。它非常适合各种精密工艺，如芯片制造、电阻修剪、隔离蚀刻和去除损坏。该系统的结构和设计使其能够快速准确地控制单层和多层基板和材料的厚度和轮廓,从而在比传统离子铣削系统更长的工作距离内提供更高水平的精细特征定义。Ionfab 300 Plus使用全气体辅助源，允许其阳极和阴极电极的磨损减少高达65%。这有助于延长机器的使用寿命,从而延长生产周期,降低维护成本。该单元的内部组件高度定制。其电子源提供了一种没有危险参数的高能束，使用离子束发生器进行低成本、低压力束。其腔室控制机提供了对真空室环境状态的控制，以及工艺气体流向基板的控制。该工具还利用自动真空控制器和泵的资产来维持腔室内的真空环境。这样可确保模型在最佳温度下运行,以产生最高质量的结果。OXFORD Ionfab 300 Plus由先进的设备自动化软件平台提供动力，允许对整个系统进行直接控制和监控。直观的用户界面允许技术人员和操作员快速创建和分配复杂的流程配方，以及实时监控单元性能。Ionfab 300 Plus还具有多项安全功能,可确保操作员和工作环境保护。它符合多项国际安全标准，并且在发生任何过程错误时配备了广泛的报警机。总体而言,OXFORD Ionfab 300 Plus是寻求可靠、通用且经济高效的离子铣削解决方桉的用户的绝佳选择。凭借其先进的组件、高度可定制的设计和强大的自动化平台,它非常适合任何微结构应用程序。
还没有评论