二手 PHILIPS / FEI 237 #293641377 待售
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ID: 293641377
Focused Ion Beam (FIB) system
PT Gas Injection System (GIS)
Stage type: 50 mm x 50 mm
I-Gun type: Magnum column
E-Gun type: Sirion FEG Column
Beam current: 3 pA -20nA
Vacuum pump:
Turbo molecular pump
(2) Mechanical pumps
(2) Ion getter pumps
Operating system: MS Windows NT 2000.
PHILIPS/FEI 237是一种离子铣削设备,可深入了解材料的微观结构。该系统利用高能离子束在铣削过程中精确、精确地去除具有所需分辨率和特征宽度的区域。离子束产生的离子源可以调节功率、通量密度和种类,以最适合应用。离子束随后进入其形状调整的离子束光学器件,空间和能量分布相应匹配。调整后,离子束指向进行铣削过程的样品。FEI 237提供了卓越的离子束控制和分析能力,同时确保了出色的表面和形状质量的铣削特征。它具有自动铣削工艺,包括各种参数,如切削的阿基米德深度、时间、光束直径以及优化的均匀铣削工艺的脉冲持续时间。这一自动化过程还有助于控制离子能量,这使设备能够精确确定铣削区域的特征大小和粗糙度。PHILIPS 237配备了计算机控制的腔室,提高了铣削工艺的可重复性和准确性。该腔室设有气线机,使用户能够将所需的气体引入离子束路径,以实现特定的蚀刻过程。此外,该工具提供了一个原位分析资产与电子反向散射衍射探测器评估蚀刻均匀性。二次电子探测器的结合进一步允许快速成像表面地形和蚀刻面取向。237是微机加工、纳米材料、半导体器件和生物应用等应用的理想解决方桉。其先进的控制和分析功能以及自动铣削过程使此模型成为任何研究环境的重要补充。
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