二手 PHILIPS / FEI DB 830 #9121001 待售

PHILIPS/FEI DB 830是一款设计用于先进材料加工的多功能离子铣削设备。在执行涉及从基板表面去除材料的各种任务时,它提供了卓越的性能、准确性和可靠性。FEI DB 830设计有一个源-靶柱，能够与多种离子一起操作，包括氙气（Argon）、氙气（Xenon）、霓气（Neon）。它配备了能提供高达8 keV的高离子能源和一个用于精确过程控制的旋转偏转器。该系统设计为在真空环境中运行，由高压电源供电。PHILIPS DB830的主要应用是离子铣削，这是一种用于塑造和去除基板表面材料的工艺。该单元包括一个可容纳目标、枪和光束光学器件的铣削室。可以将各种各样的铣削轨迹编程到机器中,使其能够铣削平面、曲面和复杂的3D形状。DB830还能够进行蚀刻，这是一个涉及从基板表面选择性去除材料的过程。蚀刻是通过利用离子束在基板表面上创建图样来进行的。该工具还具有自动聚焦模式，使其能够在不同深度蚀刻时自动重新聚焦离子束。FEI DB830可使用多种配件，如液氮冷却屏蔽层保护基板免受离子束的侵蚀，或实现更快处理时间的脉冲离子束蚀刻模式。该资产还具有广泛的光束过滤功能,可以精确控制所创建模式的结构。总体而言,PHILIPS/FEI DB830为材料处理提供了全面、高度先进的解决方桉。它拥有广泛的离子束源、强大的光束光学器件和配件，是任何需要从表面去除材料的应用的理想选择。