二手 PHILIPS / FEI DB235 #293616080 待售
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ID: 293616080
优质的: 2002
Scanning Electron Microscope (SEM)
(2) GIS
Detectors: SED, TLD, CDEM, STEM
2002 vintage.
PHILIPS/FEI DB235是一种离子铣削设备，设计用于微电子元件的精密表面抛光（或"溅射"）。该铣削系统利用高度聚焦的离子束来去除表面的微量缺陷,而不会损坏底层材料。离子束由离子源产生，离子源耦合到真空室。为了控制离子束的大小和形状，真空室入口处安装了可调孔径板。离子束由一系列透镜聚焦和引导，产生直径通常为5微米或更小的细光束。使用这种设备，零件可以精密地铣削到1微米或更高的范围内。铣削单元的编程允许用户调整溅射深度、离子方向和溅射速度。可以调整铣削条件，从而实现精细或粗糙的抛光。此外，在FEI DB235机上，可以调整离子源功率以改变光束能量，以适应不同的基板和缺陷去除模式。该工具配备了多项安全功能。安全快门可确保光束在不使用时不活动。腔室内的自动清洁设备会定期擦洗内表面,确保在铣削过程中污染不会轻易转移到元件上。PHILIPS DB 235型号是许多微电子应用的理想选择，包括生产高密度集成电路和MEMS。该设备已被证明是精密铣削和表面抛光的经济高效的解决方桉，因此可用于研究和工业环境。
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