二手 PHILIPS / FEI Strata 400 #9302302 待售

PHILIPS/FEI Strata 400离子铣削设备是一种用途广泛、功能强大的蚀刻工具，用于制造复杂的微电子器件，如晶体管和微处理器。FEI Strata 400具有三轴电动运动控制系统，为基板和离子束提供简便准确的定位。离子束能量从0伏可调至300伏，并与高达20毫安的可调离子束电流耦合。使用三轴运动控制单元，可以将基板精确铣削到几纳米的厚度。PHILIPS Strata 400配备了可以了解各种3D模式和其他结构尺寸的模式识别机。它还可以区分不同的材料，能够精确检测最高点，以便精确研磨高长宽比特征。此外,Strata 400还包括一个闭环致动工具,它允许对离子束电流进行微调以获得精确的灵敏度。PHILIPS/FEI Strata 400离子铣削资产有多种气体输送系统，以氧气为主要蚀刻气体，以氯气、氟气、六氟化硫和氙气为附加蚀刻气体。它还具有可调气体流速，用于控制各种气体在基板上的流动，可调节时间/持续时间控制，以精确蚀刻出精确数量的材料。FEI Strata 400自带内置自动化模型，包括自动化基板装卸、腔室清洗、真空泵维护等操作的软件。该设备便于安装和操作蚀刻过程,以及在出现问题时进行错误处理。PHILIPS Strata 400离子铣削系统是一种功能强大且可靠的工具,可用于各种应用的精确结构。它结合了精确运动控制、可调光束能量、模式识别技术、气体输送系统和自动化，是生产复杂纳米级电子器件的理想工具。