二手 PHILIPS / FEI Strata DB235 #9375990 待售
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已售出
ID: 9375990
优质的: 2004
Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope (FIB-SEM)
I-Gun type: Magnum column
Stage type: 50 mm x 50 mm TSMCB
E-Gun type: Sirion FEG column
PT Deposition system
Load lock
Operating system: MS Windows NT 2000
Vacuum type:
Turbo molecular pump
Mechanical pump
Ion getter pump
Detectors:
CDEM
ETD
TLD
I-Gun beam current: 1pA~20nA
2004 vintage.
PHILIPS/FEI Strata DB235是一种高端离子铣削设备,旨在为各种材料提供最高精度的铣削操作。它具有独特的设备,可以在微电子、纳米技术、MEMS和医疗设备开发等广泛的应用领域进行离子铣削操作。FEI Strata DB235是一种高性能的离子铣削系统,具有300 mm宽的视场,可确保在广泛的应用中获得可靠的结果。它使用减速器精确控制入射离子的动能。这有助于确保一致的结果,以及提高质量因素(如吞吐量和分辨率)。它还具有最先进的控制控制台,包括一组全面的特性和功能。PHILIPS STRATA DB 235利用最新的先进材料研究公司(MRC)离子源技术将聚焦离子束引导至所需的目标表面。它能够与甲烷、氢气、氙气、氙气和氦气等一系列气体一起工作。该单元还能够使用多种电离技术,包括高能化学电离、低能热电离和中间能表面电离。FEI STRATA DB 235提供精密铣削操作,可实现极高的精确度。它能够创建小至60纳米宽的特征,并具有可设定为低至4纳米的聚焦深度。这样可以确保对任何目标材料进行精确的表面修改。它还提供了从每秒2微米到每秒30微米选择任何铣削速度的灵活性,从而最大限度地提高了吞吐量,同时仍然提供了所需的高精度。除了高精度铣削操作外,PHILIPS Strata DB235还包括铣削和沉积特征。具有高质量沉积介电、碳、铝组分,以及喷砂蚀刻、反应性离子蚀刻、电极溅射等能力。STRATA DB 235还包括扫描控制功能,用于创建模式和沉积手动操作无法实现的特征。最后,机器配备了一个软件包,可以方便的可视化数据收集和分析,并提供对所有离子铣削操作的完全手动和自动控制。
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