二手 PHILIPS / FEI Vectra 986FC #9072298 待售
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已售出
ID: 9072298
优质的: 2012
IET / WDR System
Ion mill column / 5nm next gen column
Gases:
Chlorine / Bromine
XENON Difluoride
Siloxane (TMCTS) / (Tetramethylcyclotetrasiloxane)
Oxygen
Tungsten
Power supply
Does not include IR cameras
2012 vintage.
PHILIPS/FEI Vectra 986FC离子铣削设备是聚焦离子束(FIB)应用的行业标准。该系统利用单色离子束从样品表面精确烧蚀(去除)材料。这种烧蚀工艺用于实现内部装置结构的暴露、平面化三层涂层、表面平滑等目标。FEI Vectra 986FC离子铣床是利用热场发射电子源设计的.这个源提供了一个稳定且可重现的光束,发射寿命长达五年。利用一组电磁透镜将电子加速并聚焦到光束中进行铣削。光束尺寸和电流轮廓可调节,以适应不同的样品尺寸。该机设有内部供气,用于流量和温度控制。这有助于调节离子束铣削室的内部环境,并确保烧蚀过程中更高的精度。包括一个早期泄漏探测器,以确保安全的工作环境。PHILIPS VECTRA 986 FC离子铣削工具具有广泛的样品保存选项。这包括一个大面积的样本阶段,可以自动交换不同的样本格式,一个样本基板交换数据库,以及一个用于快速处理样本的自动化工具包。此外,资产还配备了离子束条件的闭环控制,以检测可能破坏消融过程的条件变化。该模型为具有调整光束尺寸、电流轮廓、离子束角度等参数能力的用户提供了高度的灵活性。它还能够执行广泛的铣削功能,包括表面平滑、平面化和内部结构暴露。PHILIPS/FEI VECTRA 986 FC离子铣削设备旨在提供一种高效可靠的方式来执行各种FIB操作。该系统具有广泛的样品保存和自动化功能,能够为各种应用提供高质量的结果。
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