二手 PHILIPS / FEI XL 865 #9284883 待售
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ID: 9284883
Focused Ion Beam (FIB) System
Dual beam
SIRION FEG Electron column
With Immersion lens
Magnum ion column
(2) Gas injectors
Stage, 8"
With loadlock
Robot for loading wafers
(2) Cassettes
Active vibration cancellation
EMI Cancellation.
PHILIPS/FEI XL 865离子铣削设备是一种用于精密离子铣削工艺的高分辨率低温成像仪。该系统专为各种不同的铣削应用而设计,包括金属、软材料、硬材料、玻璃和陶瓷。FEI XL 865有一个精密的数字控制单元，允许自动化操作和过程监控。该控制机还用于过程优化和过程监控，以确保最佳性能。该刀具的最大分辨率为15nm，可高精度磨削高达1000微米深。该资产配有高功率的低温离子源和腔室，便于在低温下进行离子铣削。这样可以防止工件熔化和损坏。为确保高铣削精度，该模型使用了能够产生不同光束电流范围的强大离子枪。该设备还包括各种配件，如腔室、大气束望远镜和其他必要的部件。该系统配备了一个EDX--能量色散X射线单元，有助于分析离子轰击下的材料。而且，它可以手动操作，也可以通过全自动自动化控制机器操作。该工具由真空室、离子枪阵列、冷却资产、机械手和气体入口模型组成。采用温度控制装置微调腔室温度，达到最佳铣削效果。该系统还可以配置一个低压高性能发射器，用于对材料进行比钛更软的离子铣削。PHILIPS XL 865有几个安全特性，如高压/限流截止、过流/温度保护。还包括有效的紧急情况监测，以确保人员在行动期间的安全。XL 865离子铣床是一种功能强大且可靠的铣床，对铣削过程提供了很大程度的控制。它能够在扩展的铣削深度上铣削各种材料,同时确保精度、准确性和安全性。
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