二手 SHIBAURA BF-13A #145929 待售

SHIBAURA BF-13A是一种离子铣削设备,用于精密材料去除和蚀刻。适用于多种应用，包括半导体和MEMS制造、深度蚀刻等纳米加工任务。该系统利用强大的高能Ar+离子束，将目标对准基板以侵蚀表面，从而能够精确去除材料。离子束的定向使用了多达830W的静电和磁场，允许精细控制光束的轨迹。该装置能够实现高分辨率蚀刻，深度可达500纳米，宽度可达200纳米。这是由于Ar+离子束的近束扩散和速度，可以用机器的电荷和空间数字电压表来调节。BF-13A还提供一系列安全功能,包括气体进气机和紧急停止和联锁等安全系统。此外，它还采用闭环反馈工具，提供精确的光束能量控制。资产可以持有多种材料，陶瓷、玻璃、金属等多种建筑材料都适合。它还设计了一个符合人体工程学的控制面板，允许易于输入参数和使操作快速和简单。总体而言，SHIBAURA BF-13A是一种先进的离子铣削模型，设计用于精确的材料去除和蚀刻。它具有强大的高能量Ar+离子束,结合系统精确的控制功能和安全系统,可实现精确、深蚀刻和精细材料去除。