二手 US STONEWARE 75 3RM #93375 待售

美国STONEWARE 75 3RM离子铣削设备是一种先进的半导体制造工具，用于单深和多深操作模式下的精密控制表面蚀刻通信。离子铣削系统由两个基本部分组成。首先是电源，它包括一个可编程频率范围从5 MHz到75 MHz，最大功率输出为75 kW的感应源。第二部分是离子配电单元，它由一个装有高压氙气的钢外壳、一组孔径和一个九向电源配电机组成。Stoneware 75 3RM采用12面可变深度铣削工艺,允许用户优化其蚀刻工艺,以实现更深或更浅的蚀刻效果。它具有焊接的两件式旋转头，卡盘速度可调，能够达到4.25毫米的最大蚀刻深度。该工具有一个外部气体喷射器，气体流量为每分钟0.5-3.0升（L/min），以及一个6 x 100 mm的孔径板。铣削板是可调的，能够进行可变深度控制，以达到最佳的蚀刻深度。为了实现最佳的离子铣削工艺,用户必须利用正确的气体、压力和流过卡盘的电流溷合。该资产具有在离子铣削过程中提供Ar、Xe以及Ar和Xe气体的溷合物的能力。这些气体被注入外壳，穿过一组孔径，直到到达卡盘。为了最大限度地提高产量,Stoneware US STONEWARE 75 3RM包括多种安全功能,可帮助降低在蚀刻过程中发生机器故障或损坏的风险。例如，该型号在140 A的过电流下有一个自动电源关闭，以及一个两级、高低电流精度的设备。系统还包括一组能检测短路故障、气体泄漏和真空压力的传感器。总体而言,75 3RM离子铣削装置是一种先进的、经济实惠的半导体制造工具,用于蚀刻工艺,为用户提供了以其他方法无法比拟的速度和精度生成优质蚀刻表面特征的能力。这台机器的设计目的是提供客户从美国STONEWARE获得的可靠结果。