二手 VEECO 350 #9119090 待售
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ID: 9119090
晶圆大小: 8"
Ion Beam Deposition (IBD) system, 8"
With AVP Control system
(6) Targets
Single loader.
VEECO 350是一种可变能量离子铣削设备,设计用于对精确的亚微米表面和结构的制备提供精确的控制。它利用多频离子源,创造出一个范围从0到350 keV不等的不同平面角度离子束能量。这允许用户有选择地从样品的特定区域移除材料,控制表面地形和结构特征。VEECO 350允许用户选择从6度到88度的迎角,从而实现8nm以下的所需特征大小,从而完全去除特定材料厚度。高通量自动喷枪系统可实现大面积铣削,允许同时涂覆多个具有高重现性的样品。保护膜涂层也可以涂在样品上。这种集成单元可以将离子集中到正负能量中,从而提高定向铣削精度。350的各种集成配件可以加入,以提供不同的离子铣削结果,包括溅射蚀刻和化学气相沉积(CVD)膜。离子束源还包括多个特点,以提供精确的离子束控制和增加样品稳定性。机器可以在超高压或基压下操作。各种离子可用于沉积或铣削,使用户能够获得所需的铣削结果。刀具的窗口还允许以最小的污染来铣削真空兼容样品。资产使用图像调查技术读取和分析样本,让用户快速准确地确定基板的组成和厚度。VEECO 350具有多轴自动化功能,允许对各种样品进行定制的快速、可重复的铣削过程。总体而言,350使用户能够精确控制各种基材的离子铣削结果。它的灵活性、准确性和自动化特性使其成为制造先进纳米结构和亚微米曲面的强大工具。
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