二手 VEECO C-1 MicroEtch IBE 350 #9300433 待售

VEECO C-1 MicroEtch IBE 350是一种离子铣削设备，设计用于半导体和薄膜器件的蚀刻和结构设计。该系统是一种全自动的、生产就绪的离子束蚀刻工具，能够蚀刻多种基材，包括多晶硅、硅、钛。配备了最先进的光谱离子源，离子束密集，精确控制轨迹、精度、均匀性。C-1的创新离子源旨在优化离子束轨迹，允许对蚀刻深度和精度进行一流的控制。它具有优化的可重复运动单元，可最大程度地减少热漂移并提供连续和均匀的蚀刻速率。先进的软件提供对机器设置的集成控制,允许对蚀刻参数和工艺条件进行实时调整。C-1的设计考虑到了安全性。它具有独特的真空密封室，提供高水平的离子安全壳，以确保在当地安全要求范围内运行，并尽量减少辐射暴露。先进的安全工具还包括额外的安全和监测系统，包括压力和温度传感器。操作人员的健康和安全通过良好的衰减特性得到进一步的保证，这种特性可以方便操作，而不会对操作人员造成巨大的噪音或有害物质暴露。C-1 MicroEtch IBE 350是为商业用途开发的通用、可靠、高效的离子铣削资产。它具有各种先进的安全特性和尖端的光谱离子源，旨在使性能最大化。它能够以精确和可重复性的方式有效地蚀刻基板，使其成为半导体和薄膜器件精密蚀刻和结构化的理想解决方桉。