二手 VEECO / DEKTAK RF 350 #9235881 待售

VEECO/DEKTAK RF 350是一种高精度的自动化离子铣削设备，设计用于生产各种应用的超薄基板。该系统集成了自动化样品制备、离子枪和/或蚀刻元件、控制电子等先进功能。这样可以精确控制铣削角度、光束能量和曝光持续时间,从而在生产纤薄基板时实现无与伦比的精度。基板安装在机器中，并且在基板上方放置一个光刻定制的面膜。离子枪产生一束细细聚焦到点状点的离子束。然后，该光束以一系列精确形成的角度轰击基板，这些角度经过校准，可以在所需平面上铣削基板。当离子撞击基板时，它们会在基板表面蚀刻，从而实现所需零件的几何形状。精细调整离子能量和光束偏转，以控制铣削过程的速度和精度。VEECO RF 350的离子枪可以生产替代蚀刻速率材料，如金属甚至硅，以及特种离子枪组件和蚀刻组件（阴极、屏蔽和/或提取器）。此外，该单元能够调节腔室及其环境的温度，允许精确的环境控制，以减少离子束扩散的影响。基材可以高精度、高精度地切割，产生所需的图桉。DEKTAK RF 350也可以集成到盒式到盒式机器中，同时处理多个基板。这进一步提高了切割工艺的总体准确性和效率。高级特性、精确控制和灵活性的结合使RF 350成为在各种精密程度最高的基板上进行离子铣削的理想选择。它的准确性、速度和质量使其成为那些需要坚固、高品质的纤薄基板的人的绝佳选择。