二手 VEECO IBD 210 #9225782 待售
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已售出
ID: 9225782
优质的: 1998
Ion beam deposition system
Chamber turbo: ALCATEL ATH 2300 M
LL: ALCATEL ATP 150 C
Spare parts:
Qty / Description
(5) / MFC FC-2900V-4V, 50 sccm N2
(2) / Coating sources (Domed, 3E SPG2)
(2) / MFC FC-2900V-4V, 10 sccm N2
(1) / Cladding set VEECO 2, (14) parts
(2) / MFC FC-2900V-4V, 100 sccm N2
(1) / MFC FC-2900V-4V, 20 sccm N2
(1) / PC Power supply FSP Fortron SPI-300G(PF)
1998 vintage.
VEECO IBD 210是一种高度通用的离子铣削设备,可为各种应用提供卓越的性能和可靠性。适用于各种材料的铣削,从奇特的金属到未测量的半导体基材。该系统采用旋转波技术和强大的离子束注入装置,对高纵横比特征进行精密、精确的铣削,几乎没有工件损坏或变形。IBD 210是高端应用的理想选择,例如创建MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)结构、薄膜沉积蚀刻或检索透射电子显微镜样品。VEECO IBD 210拥有一个灵活的、易于使用的界面,直观且用户友好,允许用户快速设置复杂的铣削任务,而无需进行最少的手动干预。它具有一个庞大的工具库,允许用户存储与每个组件或示例关联的所有参数,并具有高度的自动化,以确保在较长时间内保持一致的操作。该机还能够以特定的层层方式编程材料铣削和蚀刻的高级策略。IBD 210配备了精确、高分辨率的离子束注入工具,能够可靠地、精确地产生具有均匀表面端接和对底层材料最小变形或损坏的铣削过程。该资产与各种铣削气体兼容,包括Ar和O2,并且可以以增加的沉积速率脉冲铣削。最先进的控制模型包含所有必要的电源和流量控制器,每次都会产生干净、一致的铣削结果。VEECO IBD 210的先进仪表设备允许与现有基础设施轻松集成,并包括广泛的硬件和软件选项,如VEECO离子束源、VEECO室内涡轮抽水系统和VEECO样品扫描单元。IBD 210为精密铣削工艺提供了可靠、高效的解决方桉。其先进的技术能力,加上高度自动化,使其成为要求可靠和精确铣削结果的要求苛刻的应用程序的理想选择。
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