二手 VEECO IBD-350 #9040552 待售
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ID: 9040552
Ion Beam Deposition System
Main Unit:
(1) Deposition Chamber 0.2 cubic Meters, Pressure = -1Bar
(1) Deposition Chamber 0.75 cubic Meters, Pressure = -1 Bar
(2) Q Leybold MAG 2000 Turbo Molecular Pumps, (1) CTI Cryogenics ON-Board 8F Cryopump
(2) Amtek Process Instrument Dymaxion Dycor Residual gas Analyzer Mass Spectrometers
Control Racks with the Following Combined Components:
(4) Triplite Smart UPS Rack Power Supplies
(4) Rack Servers
(1) LCD Monitor
(1) Raritan Master Console MX Module
(3) CTI Cryogenics Controllers
(1) Pfeiffer Model TCP380 Vacuum Controller
(6) Sorenson Model DCS60-18E Power Supplies
(2) Sorenson DCS600-1.7E
(1) Netview KVM Switch Solutions Controller
(1) Hiden Analytical RC Interface Modules
(3) Spellman SL1200 Controllers
(2) RFPP Model RF20MWC Plasma Generators
(2) Leybold Mag Drive 2000 Controllers
(1) Sorenson DCS20-150 Power Supply
(2) Spellman SL300 Controllers
(1) RFPP Model RF20M Power Supply
Support Equipment to Include:
(1) Neslab HX-150 Recirculating Chiller
(1) Polycold R2000 Series Model PFC-1100-LT, 2004 vintage
(2) Edwards QDP40 Dry Vacuum Pump Systems with Q-Series 2MCM Interface Modules
(1) Edwards QDP80 Dry Vacuum Pump System with a Q- Series 2MCM Interface Module
(3) CTI Cryogenics Model 9600 Compressors
(1) Polyscience Recirculator
(1) Power Cabinet with a 5HP Internal Motor.
VEECO IBD-350是一种高精度的离子铣削设备，旨在实现各种各样的纳米加工应用。该系统使用聚焦离子束（FIB）铣削来去除基板上的材料,从而创建高精度的垂直轮廓。这一单元有各种离子源，包括，，，和氦气，允许各种应用和底物的适当选择。VEECO IBD 350具有微米和纳米级分辨率以及高溅射速率。它可以切割成广泛的材料和基材，包括有机、无机、金属材料，稳定性和精确度都很好。其集成的高分辨率透射电子显微镜（TEM）屏幕能够快速确定要铣削的区域，使采样过程更加容易。此外,该机器还可以在X-Axis或X-Y-Axis同时模式下轻松操作,从而使用户可以灵活地选择适当的铣削过程范围和深度。IBD-350还具有直观的控制工具，可以快速、方便地设置、操作和监控离子铣削过程。该资产对光束电流、光束大小、功率密度、脉冲长度等过程参数提供了强大的控制,可以对其进行调整以提供最高精度和可重复性。该模型的软件还允许用户存储和召回设置，创建一个简单和用户友好的体验。为确保可靠的铣削过程,IBD 350具有多种安全功能,包括在铣削时冷却基板以防止过度铣削或局部温度升高的空气喷嘴,以及由探测器控制的光束冲刷设备,可快速记录基板损坏并停止铣削。VEECO还包括一个自动样品交换系统，允许高效的试错过程。结合VEECO的特点IBD-350使其成为各种纳米加工工艺的理想选择。由于其准确可靠的性能,VEECO IBD 350是一种用于各种研究和工业应用的出色解决方桉。
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