二手 VEECO IBD / IBE #9313137 待售
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已售出
ID: 9313137
Middle film PBD sputtering system
Cx6 C-2
Etch mill module
Computer
NEXUS CTC Flex-V2.08.135 Cluster tool controller
(3) Component cabinets:
(6) SORENSEN DSC60-18E / DCS600-17 Power supplies
(6) SPELLMAN SL300 / SL1200 Power supplies
ADVANCED ENERGY RF-20MWC Power supply
(2) APC Smart-UPS SC450
(2) CRU CD ROM Main / Backup drives
DC Power supply
(2) Cryo On Board controls
(2) Turbo power supplies
Matching network
Tuning panel
RF Power supply
SORENSEN DCS20-150 Power supply
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
Electrical cabinets
(2) EDWARDS QDP40 Vacuum pumps
EDWARDS IQDP80 Vacuum pump
POLYCOLD PFC-1100LT Cryogenic refrigeration unit / Chiller
DAYTON Overhead hoist with rail
Pendant.
VEECO IBD/IBE是一种离子铣削设备，用于平面化、减法蚀刻和设备测试应用。该系统旨在实现离子能量和通量的精确、超精细控制，以达到尽可能高质量的结果。它具有高度优化的光束组件和线性控制器，允许用户微调离子束参数以获得最大的蚀刻深度和均匀性。IBD/IBE的核心是场发射电子枪，产生宽广的高能离子束，可以聚焦加速到底物。光束一旦到达基板，就会产生平面化效应，用于平整地形表面结构。VEECO IBD/IBE还具有精确控制蚀刻深度的能力，即使在复杂的3D特征上也能提供均匀的蚀刻速率。该单元的线性控制器能够产生光滑、可调的光束参数，使用户能够微调光束以获得最佳蚀刻特性。VEECO高级梁优化过程确保结构的整个地形被平整，而不会对相邻特征造成横向地形损伤。除了平面化和减法蚀刻，IBD/IBE还可以用于多种设备测试应用。它的可变光束功率允许用户精确地执行电流与电压和温度的对比测量。机器还包括几个精确的运动控制选项，使精确的设备测试操作。总体而言,VEECO IBD/IBE是一种高级离子铣削工具,旨在实现对光束参数和运动控制功能的高度精确控制。它是平面化、减法蚀刻和需要高精度的设备测试操作的理想工具。
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