二手 VEECO Ion beam etcher #9215143 待售

VEECO离子束蚀刻器,也称为离子铣削系统,是一种蚀刻工具,它使用聚焦的离子束从基板或工件表面去除材料。这样做通常是为了在工件的表面上创建阵列或结构。离子束是使用电场产生的，电场将离子加速到工件表面。然后使用准直器聚焦离子，确保光束具有精确的形状。离子束蚀刻器由几个组分组成,这些组分一起工作以产生所需的蚀刻效果。首先，高压发电机为产生离子束的电场提供能量。然后连接到离子源，这可以是蒸发或振动源，这取决于所使用的材料。然后在离子源和底物之间放置束收集器，以收集任何不指向底物的离子，从而限制系统中其他成分的暴露。蚀刻过程可以通过改变施加在电场上的电压来控制。这反过来改变了离子的能量和速度，允许对底物进行更详细的蚀刻。光束收集器也可以移动以改变光束大小和强度，进一步允许发生更精确的蚀刻。VEECO离子束蚀刻器是一种高效、精确的各种表面蚀刻工具。它能够产生非常细小的结构，使其成为表面计量、半导体器件加工和MEMS器件制造的理想选择。它也是许多应用程序的经济高效的解决方桉。