二手 VEECO / ION TECH MPS-3000 HC #9196218 待售

ID: 9196218
优质的: 2010
Ion gun power supply P/N: 6700-010 3-1500-100 3CM beam diameter ion source Cable and power feed through Neutralizer with cable Interlock and probe cables Spare parts included 2010 vintage.
VEECO/ION TECH MPS-3000 HC是一种高度先进的离子铣削设备,用于各种微加工应用。该系统有效地在微观尺度上蚀刻材料,创建纳米尺度的结构、形状和其他特征。VEECO MPS-3000 HC是各种半导体和机械加工应用的理想选择。这项先进的技术提供了卓越的离子切割能力,并产生优异的效果.ION TECH MPS-3000 HC具有高光束电流密度,并配有一个切割单元,其中两个独立的切割头以旋转运动方式移动。该机可精确蚀刻尺寸低至1 µm的特征,并具有高分辨率。为了保证精确准确的结果,离子束在框架速率非常快的情况下被紧密聚焦和循环。此外,该工具还配备了几个阶段,每个阶段都可以配置为应用不同的材料、蒙版和蚀刻参数。资产还包含若干安全功能。离子束在到达晶圆之前经过调节和散射,使晶圆温度在加工过程中最小化。端站采用自动晶片处理模型,能够检测晶片上的错位,设备自动补偿任何错位。这样可以防止损坏晶片或系统的其他部分。MPS-3000 HC还提供一系列过程控制功能。用户可以从远程位置向设备发出命令,并且可以使用各种控制参数进行自定义。此外,该机器还提供实时监控和数据日志解释,以实现精细的流程调整。这有助于在长时间的生产运行中保持刀具性能。该资产还提供了广泛的用户友好功能。其直观的GUI界面使其易于理解和导航,模型提供了清晰的教程和维护支持。此外,设备还配备了安全遥控器,允许用户从远程位置访问系统数据。总体而言,VEECO/ION TECH MPS-3000 HC是一种先进而强大的离子铣削设备,用于各种微加工应用。其切割能力、精确控制和安全特性为各种半导体处理任务提供了优异的效果。
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