二手 VEECO ME-1001 #9236813 待售

ID: 9236813
晶圆大小: 8"
Ion beam milling system, 8" Argon plasma for microelectronics patterning Water cooled substrate holder.
VEECO ME-1001是为高精度表面处理而设计的离子铣削设备。其专利表面处理系统非常适合半导体和医药应用。这个单元允许极其严密的粒子控制,不可能有灰尘或碎片颗粒污染机器。它结合静电场、高精度表面处理和高性能真空工具,提供严格的过程控制。ME-1001是一种全自动大孔铣削资产,具有高度精确和均匀的表面处理水平。它使用高压下的电离气体作为铣削介质,通常称为离子铣削。这使得它优于传统的干磨料系统。VEECO ME-1001模型具有进料室、离子铣削室和离子端沉积室。它还具有强大的真空设备,以确保清洁,安全和一致的操作。ME-1001采用先进的加速器设计,采用接地阳极来产生二次电子,从而实现均匀的表面修改。此外,该系统还具有一个偏转单元,以保护样品免受损坏。VEECO ME-1001还配备了突破性的风冷机,以确保细粒颗粒和高效的铣削操作。该工具配备了高度精确的反馈控制资产,包括监测端口、温度传感器和质谱仪,用于准确的过程监测。它还能够控制样品和电离气体的温度、样品与离子源的距离、离子束能量和离子密度。ME-1001使目标表面纹理得到一致的实现,同时尽量减少人工干预。它提供了高度的精确度和灵活性,允许处理复杂的形状以及出色的可重复性。该模型非常适合需要光滑表面光洁度才能沉积薄膜的基材加工。总体而言,VEECO ME-1001是一种高级、高度精确和可靠的离子铣削设备,它提供了满足客户特定要求的灵活性。其优越的规格和优越的性能使得它成为高精度复杂形状加工的首选。
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