二手 VEECO RF 350 #293627213 待售
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ID: 293627213
晶圆大小: 6"
优质的: 1999
Ion Beam Etcher (IBE), 6"
Process chamber
Manual loader
MIT 190M Dry transformer
LEYBOLD HERAEUS 100 Dry vacuum pump
LEYBOLD HERAEUS Trivac D658 Pump
MZ-2T Pump
FC1600T Chiller
Terminal drive
Drilling crew
Upgraded Hard Disk Drive (HDD)
1999 vintage.
VEECO Nexus IBE 350是一种先进的离子铣削设备，设计用于精确的样品制备和表面分析。该系统专为一系列溅射过程而设计,能够进行硬铣削和软铣削。它配有一个主动/惰性气体控制单元，使用户能够为每个应用选择最佳铣削参数。Nexus IBE 350离子铣床采用紧凑的设计,可简化安装并减少设备占用。功能强大的高性能350 W rf发电机与工具的高速3轴级相结合,可实现精确的侧壁和背面铣削。VEECO Nexus IBE 350还包括一个集成的冷冻泵，使用户能够改善深凹陷特性，并最大限度地减少溅射侵蚀对所选样品的影响。这种离子铣削资产还设计为控制和监测工艺参数提供了一个最佳界面。内部监视器和直观控制模型的组合简化了铣削程序的设置和运行,同时还允许远程操作。图形式前面板显示和直观的操作菜单提供了铣削过程的清晰图形表示,使用户可以轻松调整参数并监控进度。在线计量和设备易于网络兼容的结合确保了蚀刻样品的可追踪性，提高了报告能力。由于模块化设计和用户友好,Nexus IBE 350是用于准确可靠的样品准备和分析的宝贵工具。这种离子铣削系统可以高效一致地用于各种样品，如GaN、Si、Cr和Cu合金。VEECO Nexus IBE 350离子铣床具有先进的特点和控制,是制备高阶曲面和基板的理想解决方桉。
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