二手 VEECO RF 350S #293791454 待售
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ID: 293791454
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
Ion beam system, 8"
BROOKS AUTOMATION 003-9010-03
BROOKS AUTOMATION 001-2980-64
BROOKS AUTOMATION 001-7500-02 Robot
LEYBOLD HERAEUS TMP 260U Turbo pump
LEYBOLD HERAEUS TMP 260SG Turbo pump
LEYBOLD HERAEUS TMP 361C Turbo pump
Process module station 2:
Process: Ion beam etch
PFEIFFER / BALZERS TPH 2200U Turbo pump
RFPP RF20M RF Generator
SPELLMAN SL 1200 Power supply
SPELLMAN SL 300 Power supply
SORENSON DCS60-18E Power supply
SORENSON DCS600-1.75E PBN Power supply
MKS CT27A12TBC810 Pressure gauge
CONVECTRON Type 685
VAT 14048-PE44-AAL1/0014 Isolation valve
NESLAB HX-150 Chiller
Gas boxes:
Gas 1: Ar, 50 SCCM
Gas 2: O2, 50 SCCM
1999 vintage.
VEECO RF 350S是一种最先进的离子铣削设备，设计用于半导体、光学和研究行业的精密蚀刻和材料去除。这种先进的设备结合了尖端技术和坚固的结构,为各种应用提供高性能的离子铣削功能。VEECO RF 350 S利用离子束技术，以高精度和控制的方式选择性去除基板表面的材料。该系统产生高能离子束，轰击样品表面，溅射原子和分子，实现精确蚀刻和图样。该工艺允许制造具有亚微米分辨率的薄膜、光滑表面和复杂图桉。射频350S的关键特征之一是其先进的射频等离子源，它能够精确控制能量、密度和方向性等离子束参数。这允许定制离子束特性以适应特定的材料特性和蚀刻要求。该装置还具有具有精确温度控制的高真空室，为离子铣削工艺创造了最佳条件。RF 350 S配备了多用途的样品级，可以容纳各种基材尺寸和形状，允许在样品制备和加工上具有灵活性。该机支持批处理和单基板处理模式，实现了高通量的制造和研究应用。此外，样品阶段可以旋转和倾斜，以实现整个基板表面的均匀蚀刻和覆盖。为了精确的过程控制和监控，VEECO射频350S配备了先进的软件和自动化能力。用户可以对离子铣削过程进行编程和排序，为离子束能量和通量设置参数，并监控实时过程数据，以确保一致和可重现的结果。该工具还包括内置的安全功能和诊断,以防止错误和优化资产性能。除了主要的离子铣削功能外,VEECO RF 350 S还可以配备可选附件以增强功能。其中包括用于实时过程监测的原位计量工具、用于反应性离子蚀刻的气体注入系统以及用于快速样品交换的锁载室。这些附件进一步扩展了模型的功能，并实现了更广泛的处理技术。总体而言,射频350S离子铣削设备为半导体、光学和研究行业的广泛应用提供了尖端技术、精确控制和多功能性。凭借其先进的特性、可定制的离子束参数和自动化能力，RF 350 S是实现精密蚀刻、薄膜沉积、表面改性、高精度和重复性的强大工具。
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