二手 VEECO VS 300 #70878 待售

VEECO VS 300是一种离子铣削设备，用于构造金属和陶瓷等无机材料中的高长宽比轮廓。设计用于半导体和薄膜器件制造中的微型化和微型化等材料加工应用。该系统由离子束源、扫描仪单元、气箱、真空室四大组件组成。离子束源产生针对样品的高压电势，将离子从样品表面释放到腔室的真空中。离子轰击目标样品区域，使其表面烧蚀，留下所需的图桉或蚀刻特征。扫描仪确保离子束对样品的精确和可重复定位。该工具由检振扫描仪和一个聚焦透镜组成，用于控制离子束轨迹的偏转。气体箱提供了一个受控的环境，以提供在基板上创建图样或蚀刻所需的不同气体。气体随后被电离，生成为等离子体，然后进入真空室。真空室是密封的，除了允许查看样品并连接到冷冻泵的腔室窗口，以保持与离子和基板相关的真空，以便对材料进行适当的烧蚀。VS 300专为金属、半导体、陶瓷、薄膜等基板的图桉和蚀刻而量身定制。它有一个先进的光束电压电位计安装在它的腔室，允许与正在处理的特定材料相关的优化工艺条件。它能够使特征尺寸从10nm到10µm,并达到5：1的长宽比。模式的大小也可以以可重复性和准确性快速调整和复制。此资产还提供其他功能,例如Model X+协议、Align X协议、使用外部提示生成并集中的字段以及模式生成器。总体而言，VEECO VS 300是一种可靠、可重复和精确的离子铣削设备。它是金属和陶瓷等材料各向异性蚀刻和高长宽比特征铣削的理想选择。该系统是各种设备制造、薄膜加工和MEM应用的最佳选择。