二手 ADIXEN APR 4300 #9235406 待售
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ID: 9235406
Wafer decontamination system, 12"
CIM: E84, SECS/GEM, GEM300
Main system:
Main mini environment Platform
Main CPU & ACDC module
SMIF System: (2) ASYST 2200 Indexers
Handler system:
Wafer notch alignment with spatula
(2) Harmonic arm drive assembly with wafer handler
APM Slider with shuttle arm
Process chambers:
Etching with E-chuck
Stripping
Rinse/Spin dry
(2) Load locks
(3) RF Generators, 1250 W
Auto WVDS controller
Accessories: Remote AC box
Main chamber:
Turbo pump: 1000ltr with controller
E-Chuck
TCP RF Match
Bias RF match
(2) RF Generators
100 sccm CL2 MFC
50 sccm BCL3 MFC
300 sccm O2 MFC
30 sccm N2 MFC
1000 sccm N2 MFC
100 sccm Ar MFC
50 sccm He UPC
Strip chamber:
DSQ RF Match
Heater paddle
RF Generator
Auto WVDS controller
2000 sccm O2 MFC
300 sccm N2 MFC
500 sccm H2O MFC With controller
Rinse/Dry: Spin dryer with vacuum chuck
2014 vintage.
ADIXEN APR 4300是ADIXEN品牌的耐用有力的实验室设备及配件。该单元是双隔膜真空泵与集成控制器的组合。它旨在满足实验室设备和配件的苛刻应用需求。APR 4300具有双膜片真空泵和集成控制器，设计为即使在最苛刻的实验室环境中也能提供可靠高效的操作。该装置装有1/4 NPT配件，最大抽水能力为8升/分钟。它具有强大的1150W马达和三级操作，并通过CE认证安全可靠的操作。该单元有一个内置的自测油雾排水口，延长了过滤器的寿命，并形式上减少了油雾。ADIXEN APR 4300具有彩色液晶显示屏,显示压力和流量值,使用户能够轻松监控系统性能。该装置设计为安全运行，并受到各种安全特性的保护。该单元具有IP 21C的保护程度,获得UL批准,并具有隔离风扇电机、过载加热、过载电流保护和隔热防冲击室。APR 4300配备了简单易用的模块化设计，使设置和维护方便用户。该单元也轻巧紧凑，便于运输和储存。总之,ADIXEN APR 4300是一种先进而强大的实验室设备和配件.它旨在在最苛刻的环境中提供可靠高效的性能。该机组配备了多种安全特性，获得UL批准。此外,由于其模块化的设计,它易于设置和维护。APR 4300是需要强大可靠的真空泵和集成控制器的实验室应用的理想选择。
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