二手 SHIMADZU CTO-10A VP #170893 待售

SHIMADZU CTO-10A VP是用于洁净室/实验室处理环境的先进热氧化物设备。这台多功能机器具有自动热氧化物加工、化学气相沉积、化学机械平面化等特点。它执行以下操作：化学机械抛光（CMP）、化学气相沉积（CVD）和化学气相催化氧化（CVCO）。这些工艺用于生产高性能组件，特别是用于微电子和光学设备的组件。CTO-10A VP配备了触摸面板界面,使人员能够轻松监控机器的性能。此外,其控制系统功能强大但灵活,可以定制以满足特定要求。它的设计和布局保证了最佳的操作，以及易于操作和维护。SHIMADZU CTO-10A VP具有高级端点检测功能,使其能够准确检测氧化过程的端点,而无需额外耗时的手动端点检测过程。该单元还包括一种附加的预氧化方法，以确保氧化阶段的氧化温度稳定。为了保持一致CTO-10A温度水平，VP配备了PID控制的温度控制机。该工具与各种气源兼容，从空气/氙气到氧气、氮气和CF4。CTO-10A先进的不锈钢喷头为每种气体提供完全相同的质量流量。此外,该资产的最高温度为750°C,确保它能够高精度地执行氧化物工艺步骤。此外，SHIMADZU CTO-10A VP具有与催化氧化过程一致工作的6面积晶圆对齐器。此外,该模型还具有自动卡带加载（ACL）过程,可以更轻松地设置CVM、CVD和CVP操作。CTO-10A VP的优质材料进一步帮助创建了一个持久、安全和环保的机器。这种高科技热氧化物设备是任何实验室或高科技处理环境的强大资产。