二手 ULVAC TC-7000 #9086683 待售

ULVAC TC-7000是一种实验室设备和附件，为半导体工艺研究提供高效、高精度的蒸发设备。TC-7000将ULVAC独特的旋转蒸发源与高速多轴线性传输系统相结合，实现了极高的精度和温度控制。该单元由于速度高而减少了植入间隔，可用于薄膜形成、高温工艺、薄膜涂层等广泛应用。ULVAC TC-7000包括三个主要组件：真空机、蒸发源和转移组件。真空工具由两个真空泵组成，一个油扩散泵、一个机械泵和一个单独的涡轮分子泵。该装置提供了高质量的真空环境和高效的气体排放控制。蒸发源是放置在真空室内的旋转蒸发源，允许粒子以极局部和精确的方式完全蒸发。转移组件允许在蒸发源和基板之间进行精确和高速的转移。TC-7000还具有温度控制能力，以确保薄膜形成的准确性。蒸发源的温度可以由集成在源支架内的温度控制器控制，基板的温度由CPU利用安装在整个板上的热电偶进行监控和控制。此外，ULVAC TC-7000包括防止两个或多个源同时蒸发的互锁资产和用于高度真空管理的自动排气控制模型。TC-7000非常适合薄膜涂层、半导体加工和需要精密的各个领域的研究。ULVAC TC-7000凭借其先进的蒸发设备、温度控制和联锁系统，提供了可靠准确的结果。这使得它成为任何实验室寻找高精度和高效蒸发过程的必要设备。