二手 SUPERIOR AUTOMATION Wet bench #293597596 待售
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ID: 293597596
晶圆大小: 8"
System, 8"
Tank 1:
Mega-sonic clean tank:
(25) Wafer process cassettes
Tank construction: Heated, Recirculating, Quartz
Four sided cascade overflow
Inlet / Outlet Connections, ½”
Connection: Flare
Tank inner dimension: 12” W x 12” L x 12” D
Mega-sonic system: 750 kHz, 600 W
Operating Temperature: 70°C
Manual lid: PTFE / Teflon
Tank 2 and 3:
SC2 Clean tank and Silicon etcher
(25) Wafer process cassettes
Tank construction: Recirculating PFA / Teflon
Four sided cascade overflow
Inlet / Outlet connections, ½”
Connection: Flare
Tank inner dimensions: 12” W x 12” L x 12” D
Manual lid: PTFE / Teflon
Tank 4 and 5:
HF and DHF:
(25) Wafer process cassettes
Four sided cascade overflow
Tank construction: Recirculating natural polypropylene
Inlet / Outlet connections, ½”
Connection: Flare
Tank I.D: 12” W x 12” L x 12” D
Manual lid: Natural polypropylene
Tank 6,7 and 8:
1, 2 and 3 QDR Rinse tank:
(25) Wafer process cassettes
Four sided cascade overflow
Tank construction: Natural polypropylene
DIW Adjustable: Top spray nozzle
DIW Bottom: Fill cascade overflow
Quick dump valve
Tank 9 and 10:
4 and 5 QDR Rinse tank:
(25) Wafer cassettes
Tank construction: Natural polypropylene
Four sided cascade overflow
DIW Adjustable: Top spray nozzle
DIW Bottom: Fill cascade overflow
Quick dump valve
QDR controller: Microprocessor
Integrated solenoid valve
Fill spray and dump timer.
SUPERIOR AUTOMATION WET Bench is a type of laminar flow and fume hood.这种设备通常放置在实验室环境中，其设计目的是提供一个不受污染的区域，在其中执行必要的处理任务。它防止空气中的微粒和烟雾进入工作区，并提供层流区域，这意味着环境中的空气保持在比实验室其他部分低的压力下，从而使微粒能够从环境中抽出。湿式工作台是一种封闭式设备，旨在减少污染并提供干净、安全的工作空间。该系统由不锈钢构成，提供坚固耐用的环境，通常包括体积流量控制、双皮墙单元、紫外线荧光照明以及正负压力系统。这样可以确保整个环境中的气压均匀,从而最大限度地减少进入工作区时可能受到的外部污染。SUPERIOR AUTOMATION WET Bench的主要部件是一个独立的层流工作区域，不受灰尘、污垢、空气中的微粒和烟雾等任何外部污染。这是由机器的空气流通工具实现的，在该工具中，空气从清洁空气的外部来源循环，流经湿板凳内部，然后被过滤并排出到外部环境。这有助于保持连续的层流，这对于任何洁净室过程都是至关重要的。SUPERIOR AUTOMATION WET Bench的设计使内部空气保持在比实验室其余部分更低的压力。这种类型的引擎盖使粒子能够从环境中抽出，因为它们不能在较高的气压下被置换。它还设计了一个双皮墙资产，进一步帮助改善空气流动，降低噪音水平，并最大限度地减少热量损失。这种湿式工作台内置的照明系统设计为使用直接和间接的紫外线荧光灯，提供安全、均匀和一致的光线，这对于任何精确的任务和洁净室过程都是必要的。总体而言,SUPERIOR AUTOMATION湿式工作台的功能为实验室任务和过程提供了一个安全且无污染的环境。它确保气压保持在比环境外更低的水平，还有一个双皮墙模型，以帮助减少外部污染。照明设备设计为提供均匀、安全和一致的光源，层流确保空气中的微粒和烟雾不会进入工作区。这对于需要在实验室中进行的任何精确和无污染的任务都是必不可少的。
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