二手 CYMER 5300 #34281 待售

CYMER 5300是一款坚固可靠的5轴激光设备，专为深层紫外线光刻应用而设计。它具有高重复率的深紫色激光光源、193 nm的发射、6通道光学定心系统、精密工程能力以及与石英、无石英基板和薄膜等多种掩模材料的兼容性。5300提供基于激光的阵列功能,以实现高分辨率成像和卓越的图像可重复性。对于高精度印刷技术，该单元配备了预对准阶段和先进的闭环光束定位控制。它还具有高度动态的多轴光束导向机和高速扫描能力。该工具采用自动对准、曝光和边缘侵蚀控制资产进行设计,以确保阵列制作过程的准确性、可重复性和控制。此外,CYMER 5300还采用了集成计量模型,以确保过程控制和图像质量。此外，该设备提供了真正的动态梁偏转一致的打印性能和最高的图样保真度，即使在光纤水平。该系统使用额定总功率超过20瓦的激光光源，由5 kHz、脉宽调制、熄灭Q开关激光器和配有相互连接光学器件的光束输送单元组成。此光源可照亮和控制阵列制作过程,提供广泛的曝光角度、高通量、大孔和小孔以及集成的校准功能。5300还包括直观、用户友好的用户界面,具有灵活的操作设置和高效的联锁管理。它将精密的机械性能与先进的数字控制系统相结合，提供可靠和可重复的电子光刻结果。是高批量、高精度IC生产的理想选择。