二手 CYMER 5400 #293667156 待售

CYMER 5400激光器是一种脉冲准分子激光器，用于高级光刻、薄膜沉积、蚀刻和非线性光学等应用。这种激光器由CYMER, Inc.公司于1995年推出，具有高效率的设计，能够在其全部谐振频率范围内产生超过75瓦的输出功率。5400的独特设计包括一个8弹跳光学谐振器，它在紫外线（UV）和深紫外线（DUV）波长范围内全向发光。激光使用ArF（193 nm）、KrF（248 nm）和/或XeCl（308 nm），以产生多种激光脉冲，从单纳秒或双纳秒到紫外线次皮秒脉冲。该激光器是一个独立的单元，包括校准、控制、操作和反馈元件，此外还有一个光束传递光学子系统，能够传送干净稳定的激光脉冲。该机组配备了10 GHz抖动功能，用于快速精确的频率设置，以及内部温度控制器和主动压力稳定系统。这使用户能够在整个温度和压力范围内实现一致和可重复的性能。CYMER 5400具有可调的总输出能量、脉冲重复频率、脉冲宽度设置，并与氮、六氟化硫、氯化氙等广泛的气态介质兼容。此外，该单元还内置了机械和电气联锁的安全系统，以确保用户在操作过程中的安全。5400还包括一个自动清除循环，以防止在突然的压力事件（例如电源故障）时损坏激光的光学元件。综上所述，CYMER 5400是一种高功率、坚固耐用的激光器，为用户提供广泛的精细控制范围、最大输出能量以及可靠的内部安全系统。它是一种用途广泛且可靠的工具,非常适合多种类型的应用,其灵活性和性能使其成为许多行业的首选激光器之一。