二手 CYMER 5400 #9237253 待售

CYMER® CYMER 5400是一种健壮、高精度的激光器，由CYMER, Inc.开发。这种激光设备在制造半导体芯片方面已经使用了25年以上，具有许多特点和好处。它因其强大的功率、快速的脉冲宽度和精确的控制,在广泛的场景中提供卓越的性能。该激光系统能够提供100kW的峰值功率,使其能够有效地处理高达460nm（使用正常照明模式时为450nm）的高长宽比结构。总体而言，由于其用户友好的人体工程学特性，该单元提供了业界最高的精度水平。这种激光器能够在70Mbps的最大速度下产生最小直径150 nm至200 nm、线宽小至75 nm至100 nm的高精度通风孔和沟槽。此外，利用CYMER快速自适应控制（RAC）机提高了激光器的性能。这种先进的控制工具允许用户控制与激光资产关联的大多数参数，如波长、光束形状、功率、脉冲持续时间、操作重复率以及光束与基板的对准。该型号还采用了独特的"Active-Shield"技术,可帮助将处理时间提高32%。这种技术通过减少基板的热损伤来防止电路的损坏。此外,该激光器的设计非常可靠、准确且用途广泛,可在各种制造环境中提供一致的高质量结果。5400激光是需求驱动、高容量和低容量应用的理想平台。该设备将高功率调制脉冲激光器的所有优点与最先进的控制技术和人体工程学设计相结合，从而能够以极高的精度更快、更精确地进行处理。无论是薄膜沉积还是蚀刻和直接光刻，CYMER 5400都为半导体器件和层压制造商寻求可靠、高效、高精度的操作系统提供了最佳解决方桉。