二手 CYMER 5600 / 5610 #9030427 待售

CYMER 5600/5610激光器是由CYMER, Inc.开发的超高功率、单束激光器，用于极端微电子和晶圆尺度的曝光目的。这些激光器广泛应用于半导体芯片、集成电路（IC）、无源元件和其他微电子元件的生产中。5600/5610激光器提供了光刻的最高功率、最短脉冲和最高重复速率。CYMER 5600/5610激光器是基于Multi-Stripe技术，一种独特形式的二极管泵浦，MOPA（Master Oscillator Power Amplifier）固态激光器。这项技术将来自单个激光头的多个窄带宽激光束结合到单个高功率激光脉冲中。Multi-Stripe设计方法将传统上与其他二极管泵浦激光设计相关的非线性效应降至最低。由此产生的短脉冲激光设备具有光束光斑尺寸，可以量身定制以满足特定的系统要求。5600/5610激光器产生10kW以上的高功率峰值功率,重复率高达100kHz。这些激光器的短脉冲持续时间通常为10纳秒,其峰值功率比其他高功率激光器平台高一个数量级。此外，CYMER 5600/5610激光器具有先进的功率稳定和能量管理功能，从激光单元保证最大限度的光束稳定性和长期可靠性。这些激光器的设计实际上消除了显示伪影，并在曝光光掩模和薄膜设备时提供了出色的视觉效果。5600/5610激光器采用数字扫描控制,可实现真正的次像素分辨率和优越的阵列效果。该激光器还设计用于低光束散射，以确保精确聚焦和良好的覆盖精度。在晶片尺度曝光环境中，CYMER 5600/5610激光器特别针对高分辨率、透镜成像进行了优化。激光器提供快速的扫描速度和改进的处理能力前景。5600/5610系统经过了广泛的现场测试,其设计目的是满足商业生产中最严格的工艺要求。在微电子生产方面，CYMER 5600/5610激光平台提供了业界最高的峰值功率和最短的脉冲宽度。这使得它们成为光刻、蚀刻、高密度互连制造、微量包装、MEMS制造等极端微电子应用的理想选择。5600/5610激光器具有高功率和短脉冲能力,为微电子器件生产提供了最高效率的机器,可实现最高的吞吐量和最佳的器件产量。