二手 CYMER ELS 5300 #293797423 待售

CYMER ELS 5300是一种动态准分子激光器，广泛应用于半导体芯片的制造。这种先进的设备由计算机控制的、密封的激光室组成，提供高能光脉冲。腔室压力稳定，内部环境高度优化，达到峰值效率。在其核心，CYMER ELS-5300以高达5.0千瓦（kW）的峰值功率产生193纳米（nm）波长稳定的激光脉冲。这是通过一个由两个独立的准分子激光头组成的复合光学系统来实现的，每个半分子激光头都能独立产生多达2.5kW个。通过改进横向光束稳定性的先进位置感测机和专门设计的"功率稳定"工具进一步增强了光学装置，以优化强度随时间推移的稳定性。除了强大的准分子激光器设置外,ELS 5300还具有高精度步进电机和高度自动化的管道内风扇资产。步进电机可实现快速、高效的曝光时间,而风扇管内模型可为准分子激光头提供卓越的冷却效果。ELS-5300可以随附各种可选附件,包括UV分离器模块和高通量扫描系统。这些配件使设备能够进行调整，以满足不同应用的具体需求。总体而言,CYMER ELS 5300是一个功能强大、可靠且设计精良的准分子激光系统,非常适合用于先进的半导体制造工艺。其用户友好的界面和种类繁多的可选配件使其成为一种适应性强、经济实惠的选择。