二手 CYMER ELS 5300 #9245310 待售

CYMER ELS 5300是一款激光设备，专为光刻、蚀刻、退火、纹理等多种半导体制造应用而设计。这种强健的系统提供了高质量、统一的处理能力，具有灵活的单元设计和高级软件。搭载5 kW Yb光纤激光器、超稳定、高透射激光束输送机和先进的扫描能力。风冷的Yb光纤激光器在长工作距离上以连续、均匀、稳定的光束产生5 kW的输出。它提供高功率性能,延长了使用寿命,且维护效率低。激光光束传送工具利用先进的检流计和压电驱动的扫描技术对工作区域进行精确扫描，以精确放置激光镜头。先进的数字控制资产通过方便地访问用户定义的配方来满足各种处理要求,从而提供卓越的流程性能。它还具有智能自动对焦和功率控制功能,可自动设置最佳处理条件,消除校准时间,并提供统一、高质量的结果。CYMER ELS-5300还配备了集成视觉模型和过程监控功能，以确保准确性和安全性，同时提供全面的过程控制。ELS 5300激光设备是满足半导体制造需求的强大而通用的解决方桉。它提供卓越的性能,具有一致、高质量的流程、高吞吐量和高系统可靠性。5 kW输出、均匀的光束质量、先进的扫描能力、智能的自动对焦和控制功能，为广泛的先进光刻、蚀刻、退火、纹理要求提供了完美的平台。