二手 CYMER ELS 5300 #9260804 待售

CYMER ELS 5300是一种中度至大批量生产的半导体加工激光器。它利用下一代谐振器光学器件提供了强大可靠的激光源。CYMER ELS-5300提供多种激光参数，允许高达5 kW的最大输出功率和高达8 kHz的脉冲频率，使其成为深紫外线光刻和高容量处理应用的理想选择。ELS 5300融合了多种先进功能，包括集成光纤输送设备、先进的冷却室和可靠的多轴运动系统。这允许精确控制激光的时空特性和同步激光脉冲。ELS-5300的核心是其先进的谐振器光学器件，包括一个专利的双级设计，其中包括优化的反射镜和一个高质量的真空室。这提供了改进的光束特性和降低的能量损耗,从而实现了更快的处理速度和更高的吞吐量。CYMER ELS 5300配备了一种新型的气体填充装置，旨在为应用目的在气体类型之间快速切换，如蚀刻或选择性沉积。这台机器还允许引入光学辅助设备，例如液晶偏振器，以实现对光束特性的精细控制。该激光器被设计为作为多阶段生产工艺的一部分，具有与其他半导体加工系统和设备连接的标准接口。这包括电源和监测系统，以及用于记录和监测激光输出质量的软件套件。归根结底，CYMER ELS-5300激光是精确、大容量半导体生产的理想选择。其独特的特点组合，如它的双轴谐振器光学和充气工具，使快速，可靠的处理与功率和精度的最佳平衡。