二手 CYMER ELS 5305 #9293806 待售

CYMER ELS 5305是为半导体光掩模和元件生产工艺设计的第三代准分子激光系统。已广泛应用于半导体制造、器件测试、医学激光外科等多种应用。ELS 5305是一种脉冲UV-procimer激光器，它使用氙气、氟气和氯气的溷合产生248 nm波长范围内的激光束。这种激光束聚焦在光掩模或组件表面直径约1.5mm的一个点上。激光脉冲持续时间约为200纳秒，允许在特征尺寸为5微米或更小的VLSI电路上极精确地放置图样。CYMER ELS 5305的射速高达500 Hz。这使得激光可以在单个光掩模上曝光超过5,000个电路。激光每脉冲的功率输出也高达250 mJ。这种功率水平使激光能够进行精确、高质量的曝光，而不需要对激光的焦点或其控制系统进行额外的调整。ELS 5305配备了自动瞄准和曝光控制系统，允许对激光的位置、功率水平和曝光时间进行高效、独立的控制。这种控制系统还允许对激光束的焦点进行微调，使激光器能够精确地对遮罩上甚至最小的特征进行阵列。激光装在内置温度控制、通风、减尘排气系统的柜子里。这有助于确保激光在操作过程中保持冷却,并且在允许机器再次运行之前充分清除任何污染。CYMER ELS 5305以可靠性高、质量高、精度高着称。它是广泛的半导体光掩模或元件生产工艺的理想选择，使其成为业界最受追捧的激光器之一。