二手 CYMER ELS 5400 #293794151 待售

CYMER ELS 5400是专门为高级激光微处理应用而设计的准分子激光器。这套激光系统是最先进、实时的3D剖析激光器之一，可用于半导体器件的制造、研发以及其他类似的工业应用。5400在248 nm时具有极高的1.5 kW平均功率,同时具有卓越的稳定性和优越的光束指向精度,能够对小特征进行精确的蚀刻和钻孔。这种激光器还能够提供广泛的工作波长和脉冲能量。CYMER ELS-5400是一种可靠、灵活、多功能的工具,经过精心设计,明确注重可扩展性和可靠性。它的体系结构有助于集成、可维护性和维护,使其能够高度适应各种工业需求。为了帮助用户进行激光对准和过程故障排除,5400还包括一套内置的可调离散诊断和远程监控功能。5400由高频、射频激发、环形的闪光灯阵列提供动力，从248 nm的短波长以极高的功率提供即时激光能量。这种激光器可输出高达30 kHz的全脉冲能量，并利用最新的脉冲成形技术提供卓越的能量稳定性和短脉冲长度。凭借紧凑的占地面积和先进的光学设备,5400使用户能够以更高的精度和效率处理各种尺寸的结构。5400先进的光束控制特性包括主动低光束密度（LBD）技术,这是一种根据加工环境自动调整EQM、优化切削速度、减少加工误差和延长光学元件寿命的独特特性。此外,ELS 5400还配备了真空室和外壳,适合在高湿度和灰尘敏感环境中运行。总体而言，ELS-5400是一种精确度和通用性无与伦比的下一代准分子激光器。从设备制造到表征和测试,5400非常适合最苛刻的应用。