二手 CYMER ELS 5400 #9145746 待售
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CYMER ELS 5400是加州激光制造商Gooch&Housego公司生产的1类准分子激光设备。这种激光器除了包装、标记等多种其他应用外,还常用于深紫外光刻胶加工。它具有超高亮度248-nm输出,并为高通量处理提供高重复率。CYMER ELS-5400利用先进的技术,如自我监测气体输送系统和内置的安全联锁系统。ELS 5400的输出是由多频准分子激光器产生的,该激光器的脉冲高达300Hz,从而产生高效的高通量单元。激光可以利用广泛的脉冲长度,范围从5 μ s到10 μ s,允许用户根据自己的需要选择最佳的处理条件。激光还可以定制为具有不同的性能级别,使用户能够为自己的应用优化机器。该激光器还具有获得专利的KTA定向气体输送工具,有助于确保可靠、准确的气体流动,并使气体速率与脉冲频率相匹配。ELS-5400的用户友好和符合人体工程学的设计使其成为许多环境的理想选择。它专为便于安装而设计,并且可以非常轻松地安全操作。其激光工作站配备了几个安全特性,包括闭环互锁控制系统和光束路径监控资产,确保随时安全有效运行。最后,CYMER ELS 5400能够通过各种选项进行升级,例如中压气体输送模式和多频激光服务设备,以及通过定制改编来满足特定的用户需求。这种灵活性使系统成为各种工业和研究应用的理想选择。
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