二手 CYMER ELS 5400 #9188511 待售

CYMER ELS 5400是为一系列工业和研究应用而设计的最先进的准分子激光设备。它结合了优越的激光源技术和精确的控制系统，使其能够为最精确的应用提供最佳的照明。这种激光器以其高功率、坚固的设计和广泛的波长而闻名，使其成为制造薄膜沉积、光刻、微加工等工艺的理想工具。它能够以400瓦的平均功率运行，标称输出波长从248纳米延伸到308纳米。CYMER ELS-5400具有集成的三轴电动扫描仪,可提供精确的高速扫描功能,以及高度精确的光束扫描和定位。这样可以进行精确的成像,并且可调节的准直光学器件有助于调整输出光束点的形状、大小和位置。获得专利的高脉冲模式可减少脉冲到脉冲的抖动,并在执行对准时提供高精度。这确保了各种光刻应用的精确光束定位和对准。激光系统还包含几个先进的安全功能来保护用户。这包括一个专有的激光监护装置，用于监测激光的操作，并在发生任何意外异常时将其关闭。它还有一个激光束互锁机器，可以防止激光意外激活，确保光束正确瞄准目标。此外,ELS 5400还提供出色的客户支持和维护。板载诊断和诊断软件工具允许轻松进行故障排除和维护干预,因此将停机时间保持在最低限度。可选的灯丝更换套件包括所有必要的零件和组件,允许操作员快速更换磨损或有缺陷的组件,从而减少维护所需的时间。ELS-5400提供了一种功能强大、可靠且功能强大的激光工具,可在广泛的工业和研究应用中实现最高的精度和性能。它结合了优越的激光源技术和精确的控制系统，使其成为最苛刻的应用的理想工具。