二手 CYMER ELS 5400 #9293807 待售

CYMER ELS 5400准分子激光器是在微电子和半导体制造领域使用的一种功能强大、用途广泛的工具。CYMER ELS-5400是一种脉冲氙氯激光器，能够产生193nm的波长。这种波长非常适合于各种半导体材料的蚀刻和制图以及用于半导体器件光刻和制图过程的光掩模的修复。ELS 5400使用玻璃和金属光腔以及内部冷却设备构建,以确保系统安全高效地运行。它可以以极快的激光脉冲提供高能量密度，并且具有直径在0.7 µm至15 µm之间的可调光斑大小。用户可以根据自己的需要选择各种脉冲持续时间和峰值能量。ELS-5400配备了离子流监控器和湿度指示器，以帮助保持设备内的温度控制，以及可见激光二极管来检查机器的状态。CYMER ELS 5400旨在为用户提供高度精确的消融策略,同时保持低拥有成本。其用户友好的管理和控制工具使得在微电子器件和部件的生产中易于使用和获得一致的结果。CYMER ELS-5400提供多种选项,包括集成的自动化和手动处理、整数控制级、对多个激光头的支持,以及提供视线或铁芯光束以实现极高精度的选项。利用先进的光学设计和控制技术,在目标区域提供光束质量值最高为M 2<1.7且均匀性小于0.2%的优越光束特性。总体而言,ELS 5400是需要高精度和精确控制的半导体制造过程中必不可少的工具。它将能量、速度、光斑大小和可调编程相结合，使其成为各种应用的理想选择。