二手 CYMER ELS 5400 #9300111 待售

CYMER ELS 5400
製造商
CYMER
模型
ELS 5400
ID: 9300111
优质的: 1997
KrF Laser 1997 vintage.
CYMER ELS 5400是一款高功率、高性能的激光设备,设计用于维修、返工和无损材料检测(NDI)应用。该系统由5400 mJ/二极管泵浦的Nd: YAG激光源供电,脉宽降至5ns。它采用高精度的电动XY级,视野可达500 x 500 mm。该单元在CW和脉冲模式下都支持从410 nm到532 nm的宽范围激光波长。为确保精度,CYMER ELS-5400配备了HiPER(高精度智能辐射)机器,其动态测量范围可达10.9 mJ。该工具还配备了光束直径调节器(BDA),允许用户调整光斑大小以适应不同的应用。ELS 5400具有光束发散、光束均匀性、极化等优异的光束特性。对于成像,ELS-5400使用全视频速率、全帧成像,最低分辨率为30 μ m。它支持与像素无关和特定于像素的成像。与成像软件(CYMER Studio)紧密集成,可完全控制设置,如脉冲调制、脉冲形状、脉冲中心和宽度、焦点调制以及扫描速度。该资产还能够自动缩放和聚焦以获取微观特征,以及激光烧蚀,可用于去除薄层材料。此外,CYMER ELS 5400具有眼部安全互锁、光束扫描场极限、光束点oforigin保护等多种安全特性。该型号还设计满足包括CFR 21 Chapter 1、ISO 13485:2016、IEC 60825在内的多种监管标准。总体而言,CYMER ELS-5400是一种先进可靠的激光设备,适用于维修、返工、NDI等应用。它具有强大、高性能的激光源和高精度的电动XY级。凭借广泛的激光波长和出色的成像能力,该系统可以提供高度精确的结果,具有最大的灵活性。其综合安全功能也有助于确保安全运行。
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