二手 CYMER ELS 5400 #9366025 待售

CYMER ELS 5400是一种准分子激光光源，设计用于光刻和微加工应用。它具有优异的光束特性和可靠性，非常适合广泛的生产过程。CYMER ELS-5400产生波长在193-335 nm之间的紫外线输出，提供精确、可重复的处理结果。其优越的光束特性使其能够对芯片、镜片和其他小零件上的微小特征进行精确、精细的切割、成型和钻孔。其高于400 pps的高脉冲速率保证了真空和退火过程的快速准确完成。ELS 5400还具有很高的可靠性和可重复性,因为其先进的电源设计始终保持稳定的输出。此外，它的模块化和精确的计量能力允许容易成像，即使复杂的掩模设计。其卓越的扫描速度高达494毫米/秒,确保快速完成作业,而其现场和重塑功能,再加上激光电极总功率的降低,可加快曝光速度并提高生产效率。此外，它的双光束传递系统有效地传输和旋转光束，从而导致高度精确的成像。ELS-5400具有多种安全功能,使其操作安全,而其图形用户界面可轻松控制和监控系统。此外,它的高激光功率稳定性和较长的使用寿命（最低可达100万次射击）,确保了持续的性能和较低的维护成本。最后,CYMER ELS 5400具有高性能、高精度、高速度、高可靠性和低维护成本,是微机加工和光刻工程的理想选择。其先进的特征集和光束传递系统使其成为复杂设计和快速产生高质量结果的理想选择。