二手 CYMER ELS 5410 #293602395 待售
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CYMER ELS 5410是一款以高能、短脉冲激光工艺闻名的准分子激光设备。它是广泛应用的理想选择,包括半导体光刻、显示器退火、平板显示器(FPD)和液晶显示器制造,以及先进的材料加工和微加工任务。CYMER ELS-5410的喷嘴采用了改进的风冷、被动稳定激光设计。这种先进的设计提供高达1 Hz 2000mJ的脉冲能量和2.5到10ns的脉冲宽度。ELS 5410可实现可靠和一致的加工,并具有一系列材料的高通量,包括陶瓷、聚合物、玻璃和金属。该激光器配备了快速、可重复的自动激光输出控制,以确保激光器过程具有批量生产能力。ELS-5410是一个可靠和可靠的激光源。先进的激光设计保证了激光在各种工艺条件下的高稳定性和重复性,不需要复杂的外部控制系统。CYMER ELS 5410的自控单元以物理为基础,提供脉冲形状和脉冲能量的精确度,同时提供脉冲长度和脉冲对脉冲不稳定性的总控制。这种先进的激光控制机具有较高的过程吞吐量和可重复性,具有低脉冲恒定、高光束轮廓稳定性等先进的性能参数。CYMER ELS-5410具有数字激光接口,具有先进的激光参数设置功能,包括脉冲形状设置、频率和脉冲到脉冲延迟。先进的界面为用户提供了对激光参数和性能特性的完全控制,使激光性能的优化变得简单一致。ELS 5410是一种先进且高度可靠的激光源,可提供最大的性能和过程重复性。激光工具配备了先进的用户界面,确保了对激光参数的最佳控制,允许半导体、医疗和光谱行业的广泛应用。ELS-5410是为简化安装而设计的,需要最低限度的维护,并且由于卓越的可靠性和鲁棒性而导致最小的停机时间。
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