二手 CYMER ELS 5610 #9389758 待售

CYMER ELS 5610是一款最先进的准分子激光设备，设计用于薄膜和包括硬质和脆性表面在内的多种材料的高精度激光处理。它是集成电路制造、直接激光纹理和其他先进光子制造工艺的理想解决方桉。ELS 5610具有卓越的光束质量和高达10 J的脉冲能量,具有2 kHz的竞争性共振频率和紧凑的人体工程学设计,可实现最大的空间效率。CYMER ELS 5610配备了两种标准准分子激光放电类型：单纵模（SLM）和超模（SM）。SLM放电模式适用于处理透明材料，而SM放电模式可用于处理不透明材料。其先进的触发器体系结构支持定制射速和最高的拍摄稳定性和可重复性任何准分子激光平台的同类。ELS 5610的内置外腔吸收器不需要任何外部吸收器,并提供强大的烧蚀性能。激光可以配置多种快门类型，包括手动分流器、电光快门和声光快门。它还可以配置广泛的光束处理器，包括集成光束均匀器、快速机械百叶窗、光学衰减器、光束扩展器和偏转镜。可以使用多种光学元件来最好地满足应用要求。CYMER ELS 5610最多可扫描160毫米,其集成运动控制系统支持所有类型的2D或3D应用程序。集成的内置冷却装置和先进的电源控制机确保稳定运行,而不会对光学器件造成任何热损坏。集成电源监控工具可实现精确的波束剖面分析,并为高精度、结构合理的集成微加工提供长期稳定性。为了执行先进的光电应用，ELS 5610可以与多种外部光学器件集成，包括激光医学成像系统、激光投影仪和3D成像系统。一种高级数据采集资产支持实时监控和数据记录，该模型可通过脉宽调制和其他高级功能进行升级。CYMER ELS 5610易于集成到现有的生产流程中，适用于低批量生产。这种高效的设备是用于精密制造应用的可靠且经济实惠的解决方桉。它为许多需要高精度和高光束质量的应用提供了精确可靠的激光处理。