二手 CYMER ELS 6300 #154882 待售

CYMER ELS 6300是一种高功率准分子激光器，用于半导体器件制造、平板显示器生产、先进光刻等先进晶圆加工应用。这种激光器设计用于大容量、大面积处理，是CYMER提供的最强大的ELS系列。6300配置有光学泵送定时脉冲激光，由每脉冲300 mJ能级的AR-F激光气体溷合物供电。光束是通过一个开放的组合光学设备产生的，该设备使用球形和圆柱形透镜和导流镜的结合来实现平滑过渡，而不会产生焦点失真。输出功率密度高达20 Watts/cm2可实现清洁光刻模式和快速生产线。这种激光器还能够在低脉冲能量设置下快速消融，从而在蚀刻和沉积应用中实现更高的工艺吞吐量。6300的专利先进脉冲定时控制技术热控制系统，通过特殊算法允许更大的峰值功率控制，并兼顾压力、温度和激光单元稳定性等关键环境因素。该激光器还具有内置的基于MEMS的光束稳定性机器,可在+/-0.5mJ内提供出色的光束形状精度和均匀性。此外,它还提供简单直观的维护,以加快操作速度并减少停机时间。用户可以使用其内置以太网连接远程调整和更新设置。ELS 6300经过CE认证和ISO认证，使其成为先进晶圆处理应用的可靠可靠的选择。凭借其广泛的先进功能和可靠的性能，它是目前市场上最好的激光系统之一。