二手 CYMER ELS 6400 #9257275 待售

CYMER ELS 6400是设计用于生产半导体器件的高性能激光系统。它是一种可靠、坚固和高功率的激光源，能够在各种激光目标上产生更短、功率更高的激光脉冲。CYMER ELS-6400具有多横向光束发射方桉，允许它在最多八个激光目标区域内产生单、双或三脉冲。这样可以在更短的时间内实现出色的覆盖范围和卓越的处理质量。激光在连续波（CW）或脉冲模式下运行，输出功率可在可调节脉冲宽度的大范围内调节。它的脉冲持续时间可以针对高灵敏度应用量身定制，能够产生短至1皮秒（1 x 10-12秒）的脉冲。ELS 6400具有多种高级功能,包括高光功率输出,可提高吞吐量和提高产量。它还包含了几个先进的安全功能，如过温/过压保护和激光互锁，以保持高激光精度。激光可应用于多种应用，如迭加校正、精确曝光校准、去除厚厚的光刻胶层以及光刻胶层的精密干蚀刻。ELS-6400基于二极管泵浦固态平台，能够提供高平均功率和高精度定时。该激光器包含光纤耦合激光头,以确保精确的光束指向和定位,并带有用于启用/禁用/延迟实际激光脉冲的脉冲选择器,以及可调节的显示元件。CYMER ELS 6400配备了内置诊断功能，以及用于远程控制的USB转换器接口。这种多功能激光系统提供清洁、高效、准确的性能,总拥有成本较低。该机操作方便，可靠性高，是生产线的理想解决方桉。