二手 CYMER ELS 6400 #9271083 待售

CYMER ELS 6400是一种用于精密光刻的脉冲染料激光器。它采用二极管泵浦固态激光技术，在200飞秒时产生脉冲，提供高通量和一致的结果。脉冲的能量通过使用高达4 kHz的较高重复率而进一步增加。这有助于确保最大限度地减少激光束引起的地下加热的影响,同时实现所需的打印分辨率。CYMER ELS-6400具有创新的双光束配置,允许在设备基板的两个独立位置同时进行光刻。这意味着高速成像过程可以并行进行,以提高吞吐量。这也允许更高的精度,因为根据基板的特定表面布局对激光束进行精细调整以提高精度。此外,该设备还提供高精度的斑点尺寸控制,提供卓越的打印轮廓和打印非常小的功能。该激光器采用了高效的专利多层抖动能量输送系统，与单流系统相比提供了更好的动态范围和更高的速度。这有助于降低激光光源的可变性，改善光刻效果，提高印刷产量。另外，这一单元有助于延长激光源的寿命，因为它需要更少的能量每一个脉冲。ELS 6400附带了一整套用于控制机器操作的软件工具。这有助于确保正确设置工具,并确保光刻工艺产生所需的结果。该资产具有自动对焦调整模型,可持续获得最佳图像分辨率和结果。此外，激光带有广泛的安全特性，包括对主动激光安全措施的高度重视。设备采用各种方法限制激光对操作员的暴露，包括操作员的防护眼镜和联锁。这样可以确保激光的操作方式将对系统用户的任何潜在风险或伤害降至最低。总体而言，ELS-6400是一种强大、可靠和安全的激光精密光刻。它提供卓越的性能和高吞吐量,同时确保操作人员的准确性和安全性。