二手 CYMER ELS 6400 #9410300 待售

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製造商
CYMER
模型
ELS 6400
ID: 9410300
Laser High Voltage Power Supply (HVPS) Commutator AC Distribution module Line Narrowing Module (LNM) Compression head Chamber Wavelength Stabilization Module (WSM) Gas module Cooling module.
CYMER ELS 6400是一款最先进的准分子激光器,专为电子工业中先进的半导体加工应用而设计。它基于陶瓷Longpulse技术,意味着激光脉冲持续2-4ms,允许更精确和受控的蚀刻。CYMER ELS-6400提供适用于先进半导体技术的广泛功能和功能。它具有高对偶性462nm波长,短脉冲持续时间(2-4ms),以及提供快速响应和可重复结果的高速快门。脉冲宽度、幅度、功率可根据客户需求进行调整。激光在高功率、低噪声、高灵敏度模式下运行,具有优异的光刻性能。它可以在多种材料上工作,如玻璃、硅、金属和厚度和工作范围广泛的陶瓷。它也与多种光掩模兼容,使其适合各种类型的应用。此外,ELS 6400还提供了许多过程控制选项。其中包括显示器/控制器模块、塔架、烤箱以及一系列光刻和蚀刻配置。工艺控制旨在确保半导体制造的最大性能和准确性。ELS-6400是一个高度可靠和强大的系统,适用于先进的半导体加工。它提供了广泛的特性和功能,使其成为电子行业中最先进的激光器之一。该系统的灵活性和执行复杂功能的能力使其成为具有最复杂要求的半导体制造设施的理想选择。
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