二手 CYMER XLA 140 #9296982 待售

CYMER XLA 140是一种光源，用于半导体制造的光刻工艺。它能够在40 Hz时产生高达140 mJ的强大激光脉冲，非常适合用于先进的微加工应用。CYMER XLA140是一种固态溷合准分子式激光器，具有结合Nd： YAG和KrF有源介质的独特光学设计。该系统采用易于操作、高度灵活、用户友好的体系结构设计，其最大脉冲能量可根据特定应用要求进行调整。脉冲能量控制范围为5-140 mJ，持续时间低于皮秒，脉冲对脉冲稳定性在5%以内。该系统还具有高分辨率的空间振幅滤波器和先进的电源设计，可提供零抖动的脉冲触发。XLA-140旨在满足中低功率光刻的需要。它有一条集成的高精度水冷光束管线，设计用于辐射光束参数的高效、低风险前后调节。这样可以确保光束质量一致,降低操作成本以及热载荷的潜力。激光由单个准分子激光器操作，总能量功率为4 kW，输出功率高达50,000 W/cm2脉冲强度。通过标准的208 VAC、20安培输入,可以轻松满足电源要求。XLA140还有一个紧凑的足迹，尺寸为13.9 "（H） x 40.7" （W） x 52 "（L）。它既能正常安装，又能反向安装，具有高水平的隔振特性。CYMER XLA-140易于安装,功能先进,拥有成本低,是满足各种精密微加工需求的理想选择。